My 요약:
Process Recipe가 Process Program을 포함하는 용어.
Process Program 이 Process Recipe의 하나의 종류로 보면 됨.
-----------------------------
E42. $6절 찾아서 보기 (아래참조)
'반도체 & Solar' 카테고리의 다른 글
| [펌] Progress on 450mm at G450C (2013.10.14) (2) | 2013.10.24 |
|---|---|
| 타이완, TSMC 450mm팹 건설 승인 (2012.6.12) (0) | 2012.11.15 |
| ASML "2014년 양산용 EUV장비 선보일것" (2012.11.5) (0) | 2012.11.14 |
